檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "氧".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="次表面破壞"
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受到地球能源耗竭之危機,各國開始重視降低碳排量等議題,其中以發光二極體(Light-emitting diode, LED)備受焦點。目前LED基板主要使用材料為單晶氧化鋁或藍寶石基板,此基板大多以…
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單晶藍寶石(Sapphire)是一種高透光性、耐高溫且高硬度的化合物半導體材料,然而也因單晶藍寶石之高硬度和化學穩定性,目前此類晶圓基板的生產大多以鑽石線鋸(Diamond Wire Sawing,…